北京真空炉抽不上真空怎么办？氦质谱检漏步骤全流程

  做真空炉维护的师傅都知道，真空度掉得快是最头疼的问题。炉子用久了，法兰密封老化、焊缝裂纹、水冷套渗漏，都会让漏率上升。真空钎焊炉对真空度要求高，漏率不合格，工件钎焊表面就会氧化变色。怎么系统地查泄漏？用氦质谱检漏仪按步骤来，别东喷一下西喷一下瞎找。志远工业设备在售后调试时，总结了一套检漏流程，下面按顺序讲。

一、检测前的准备工作

开始检漏前，先把氦质谱检漏仪校准。用标准漏孔接在检漏仪上，看读数是否在标称值附近。偏差大了要重新调校准系数，否则查出来的漏率不准。再检漏仪自身有没有漏——往检漏仪外壳喷一点氦气，看读数涨不涨，涨了说明仪器外壳漏，先修仪器再查炉子。

然后把检漏仪接到炉子粗抽管路上。球阀先关闭，检漏仪不跟炉子连通。确认扩散泵和粗抽泵的冷却水已经打开，不然泵会烧坏。启动维持泵和粗抽泵，先把前级管路抽一下。启动扩散泵前，手动打开前级管路阀，检查前级管路自身有没有漏。查完把前级阀关上。

二、粗检：先查外部焊缝和法兰

准备好后，慢慢打开球阀，让检漏仪和粗抽系统连通。这时用氦喷枪向前级管路、粗抽系统的所有焊缝、螺纹接口、法兰处少量喷氦气。哪里读数突然涨上去，哪里就是漏点。喷氦要慢，每个点停2～3秒，等检漏仪响应。响应时间取决于漏点大小和管路长度，小漏响应慢，不要喷完马上移开。

粗检发现的漏点先修掉。修完再重复一遍检查，确认没有新漏点。这一步的目的是先把明显的外部漏点排除，别让大漏掩盖了小漏。同一区域经常不止一个漏点，修完一个要把周围再喷一遍，别修完一个就完事。

粗检没发现新漏点后，关检漏仪球阀，启动扩散泵预热45分钟。扩散泵没热起来就用，抽速不够，检漏灵敏度上不去。预热完把炉室抽到工作真空度，开始正式检测。

三、细检：炉室和真空管路逐点喷氦

如果炉室抽不到要求的高真空，略微打开检漏仪球阀，对炉室、增压泵泵壳、架空管路、真空切换管路上的所有法兰、螺纹接口、焊缝仔细喷氦。这一步喷氦量可以比粗检大一点，移动速度放慢。发现漏点做好标记，全部喷完再一起修，别喷一个修一个，耽误时间。

全部修完后，用大流量氦气对整个系统再仔细过一遍。这是查漏补缺，防止之前漏掉的小漏点。没发现新漏点后，关检漏仪球阀，把检漏仪从系统上脱开。这时候炉子就检查完了，可以准备恢复生产。

四、查不出来的隐藏漏点怎么办

有时候外部喷氦查不到漏点，但压升率测试还是不合格，说明漏点藏在内部。常见的有两种情况：一是气体从回充阀或者分压阀（氮气、氩气阀）漏进炉室。把这些阀拆下来，看阀芯上有没有灰尘、密封面有没有磨损、膜片有没有破。二是气冷换热器漏水，水从焊缝漏进真空侧。

查换热器漏水的方法：把换热器从炉子上拆下来，检查钎焊部位有没有积水。然后用空气给换热器加压到约0.7MPa表压，在所有钎焊部位刷肥皂水，看有没有气泡。可疑的话把换热器泡进水槽里，看冒不冒泡。泡完重新装回炉子之前，要在300℃烘4小时把残留水分烘干，不然装回去水进到真空里，下次抽真空又是麻烦。

还有一种情况是炉室水套漏水。拆下高温区所有部件，看有没有水渍痕迹。没有明显痕迹就用空气给水套加压到约0.2MPa，焊缝和接缝处刷肥皂水试漏。炉室本体如果有裂纹腐蚀漏点，必须焊补后重新检漏，不能凑合用。配合真空箱式气氛炉做维护时，同样的流程也适用。

有个经验：如果粗抽泵油变了色，变乳白或者变浅，说明有水漏进真空里。漏水严重时炉室连1托都抽不到，底部会积水结冰，像结了霜。看到这个现象就别再反复抽真空了，先把漏点找到修掉。

五、常规检漏参数参考

注：以上为常见操作参考，具体指标以设备厂家技术要求为准。

六、两个检漏实际案例

案例一：某钎焊炉漏率超标。该炉用了三年后漏率从5×10⁻⁷ Pa·m³/s涨到5×10⁻⁶，外部喷氦没找到漏点。最后拆回充阀，发现密封面磨损有划痕，换密封件后漏率恢复正常。教训是阀件磨损容易被忽略，喷氦查不到内部阀件的漏。

案例二：某真空炉漏水进泵油。该炉抽真空总是抽不到高真空，粗抽泵油变成乳白色。拆换热器加压试漏，发现一块钎焊焊缝有微孔漏水。补焊后重新烘干装回，泵油换新，漏率正常。水漏进真空后泵油乳化是典型信号，看到油变色要想到水路问题。

七、小结

真空炉检漏要按流程走：先校准仪器，再粗检外部焊缝法兰，然后细检炉室和管路，最后查隐藏的阀件和水套。喷氦查不到不代表没漏，要配合压升率判断。志远工业设备在真空炉售后支持上有经验，可帮客户做现场检漏和维修。