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真空烧结炉是粉末冶金和硬质合金领域的核心装备，通过"真空环境+高温加热"使粉末颗粒在低于熔点温度下实现致密化。本文从结构和流程两个维度解析其工作原理。
典型真空烧结炉由真空系统（机械泵+罗茨泵+扩散泵组合）、加热系统（石墨或钼丝发热体）、保温系统（多层隔热屏）、不锈钢密封炉体、PLC控制系统和惰性气体冷却系统组成。工作真空度通常在10⁻¹到10⁻³Pa，最高温度可达1600到2200℃。
第一阶段装料密封：将压制成型的坯体放入烧结舟送入炉膛，关闭炉门。第二阶段抽真空：机械泵预抽至粗真空后启动高真空泵组，排除氧气和水汽。第三阶段升温烧结：按预设程序升温至目标温度，粉末颗粒通过扩散和再结晶实现粘结致密。第四阶段保温：在目标温度保持一段时间确保组织均匀。第五阶段冷却：充入惰性气体循环冷却至出炉温度。