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真空炉在密闭腔体内抽除空气形成真空环境，利用电阻、感应或辐射加热方式对工件进行热处理。了解其工作原理和养护方法是保障长期运行的基础。
通过机械泵、罗茨泵和分子泵组成的泵组将炉内空气抽出，达到10⁻³到10⁻⁶Pa高真空。真空环境避免高温下工件氧化脱碳，减少热对流提高加热效率。加热方式以电阻加热为主，炉膛内布置钨、钼或石墨发热体辐射加热工件。感应加热则利用电磁感应使导电工件自身发热。
每次使用后清理炉腔残留物，检查密封圈有无老化划痕。定期检查真空泵油位油质，乳化或变黑及时更换。校准温度传感器和真空规管，确保读数准确。定期检漏确保压升率达标。冷却水系统定期除垢，保持流量正常。