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真空炉是一种在真空环境或受控气氛条件下进行加热、烧结、退火等工艺的工业加热设备。其特点是炉腔内部维持低于大气压的真空状态，避免材料在高温下氧化。
通过机械泵粗抽、罗茨泵增压和扩散泵高真空获得，使炉内气压降至10⁻³到10⁻⁶Pa。真空环境隔绝氧气和水蒸气，保证工件表面光亮和材料纯度。高要求工艺还可充入氩气或氮气作为保护气氛。
加热元件采用石墨、钼或钨等高熔点材料，通过辐射方式均匀加热工件。多区独立控温配合PID算法保证温场均匀性。冷却系统在烧结完成后充入惰性气体循环快速降温。PLC控制系统精确控制全过程，实现升温、保温和冷却的自动化运行。