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真空炉控制环境气压，使材料在真空或特定气氛中热处理，通过高温改变材料物理化学性质。
控制氧气含量，真空环境减少材料与氧气接触，防止氧化腐蚀。保温加热方法使材料受热均匀，温度分布一致。可提供高温高压条件满足特殊处理需求。计算机控制系统实现自动化生产，提高效率。
金属制造中淬火退火和表面处理，改善强度韧性耐磨性和耐腐蚀性。电子工业中半导体器件热处理和银浆烘干。石油化工中催化剂退火干燥。玻璃制造中退火和热弯成型。