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真空炉在密闭真空炉内进行金属零件热处理，获得和维持原定漏气率保证工作真空度是关键。
炉体采用气密焊接，尽量少开或不开孔，少采用动密封结构减少真空泄漏。水冷电极热电偶导出装置都设计密封结构。可靠密封结构保证工作真空度和热处理质量。
加热与隔热衬料在真空高温下工作，要求耐高温蒸汽压低辐射好导热小。广泛采用钽钨钼和石墨作加热隔热材料，这些材料在大气状态下易氧化只能在真空状态使用。炉壳水冷或气冷降温防止变形。