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志远工业参展第十四届半导体设备材料及核心零部件展，展示面向半导体材料与器件制备的热工装备。展会现场，技术人员与行业客户交流真空炉在半导体工艺中的应用。
半导体工艺的热工设备
半导体材料制备与器件工艺中，退火、烧结、气氛处理等环节需要稳定的热工设备。志远工业气氛炉、真空炉支持气氛控制与程序升温，可根据工艺要求配置炉膛与温区。
洁净与一致性要求
半导体工艺对设备洁净度与温场一致性有较高要求。志远工业设备在真空系统与热场设计上注重减少污染风险，出厂前完成温场测试与标定。
半导体热工工艺对设备稳定性要求严格。志远工业可为半导体材料与器件企业提供热工设备与工艺支持，欢迎展会交流。
欢迎咨询志远工业真空箱式气氛炉相关设备与工艺方案。