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真空炉利用真空系统使炉腔压强低于大气压，用于陶瓷烧成、真空冶炼和金属钎焊等。使用中可能出现多类故障。
真空泵故障包括电机损坏、密封件磨损和油路堵塞，导致炉内达不到所需真空度。密封件老化破损造成气体泄漏，常见橡胶圈老化和机械密封损坏。定期更换密封件和维护真空泵是预防关键。
加热元件故障如电热丝断裂和热电偶失效，导致温度失控或加热效果差。控制系统故障使温度压力等参数无法正常监测调节。建立定期维护计划，及时发现更换易损件，可减少停机时间。