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真空炉在高温低压下加工材料，加热方式多样，不同方式适用于不同工艺需求。
辐射加热利用加热元件辐射能量加热，速度快灵活性高效率高，广泛用于表面处理和热处理。电阻加热利用材料自身电阻发热，结构简单维护方便成本低，温度范围广加热均匀，是常见加热方式。
感应加热利用交变磁场在导体中诱导涡流发热，快速节能效率高，适用于金属淬火和退火。等离子体加热通过放电产生等离子体，加热速度快温度均匀非接触，可实现特殊化学反应，适用于特殊材料处理。