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真空炉的运行离不开各类仪表的配合。常用真空仪表主要分两大类：一类是真空测量仪表（真空计），另一类是真空系统供气流量仪表。志远工业设备对这两类仪表做个系统梳理，帮工艺人员了解各自适用范围。
真空计种类较多。静态变形真空计利用弹性元件受大气作用产生变形来测压；静态液位真空计利用 U 形管液面差测压；压缩式真空计在 U 形管基础上应用波义耳定律，把待测气体等温压缩后再换算。热传导真空计利用低压下气体热传导与压力相关的原理制成，常见有电阻真空计和热偶真空计。
此外还有热辐射真空计、电离真空计（含热阴极、冷阴极和放射性电离真空计）、放电管指示器等。放电管指示器只能做定性判断。更精密的振膜式真空计、磁悬浮转子真空计、四极质谱计等，则用于更高精度的科研场合，工业生产中以前几类为主。
用真空炉进行渗碳、渗氮等化学热处理时，需要向真空室内输入气体或液体渗剂，通常用转子流量计检测和控制流量。配套的真空针阀（微调阀）用来调节进入真空室的介质流量，阀体一般采用不锈钢制造，以保证耐腐蚀与密封性。流量稳定与否直接影响渗层均匀性。
真空计的准确性直接影响工艺判断，应定期校准。规管属于易损件，长期使用后灵敏度会下降。对于真空加压烧结炉这类对气氛和压力要求严格的设备，仪表的定期检定尤为重要。志远工业设备建议用户建立仪表台账，按周期送检；配合实验设备做气氛工艺时，流量计读数也要定期核对，确保数据可靠。