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冷却系统是真空炉的重要组成部分。冷却水路一旦不畅，水温升高就会造成停机，无人看管时甚至可能导致设备损坏。志远工业设备提醒，冷却水管理与停电应急往往是日常运行中容易被忽视的环节。
可用生物分解化学辅助方法处理冷却水，使矿物质保持悬浮状态，减少橡皮管、蛇形管与水套内沉淀物堆积，保持水流畅通。通常由自动装置监测水的导电性，自动补加化学剂、冲洗水路并补充新水；配合蒸汽过滤系统，还可控制水的pH值，防止多余矿物质沉积。系统稳定后，至少每月做一次水质试验，防止处理过量或不足。
真空炉外壳与热交换器材料试样应放入水路系统，每年做一次重量损失检验，检查水处理效果。扩散泵蛇形管冷却器要重点检查，一旦堵塞，扩散泵会过热失效，甚至烧毁加热器，造成维修成本上升。冷却水管堵塞时，先断开水源排水，再用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。对于气氛炉类设备的水路管理，可参考真空箱式气氛炉的冷却设计规范。
控制柜应设电源急停装置，并做好停电应急。突发停电时可用发电机抽冷却水，或充氮气冷却炉体，防止因停电超温损坏密封圈。循环水系统严禁断水，冷却水进口压力宜控制在0.15至0.3MPa，流量约30m³/h，进水温度不超过32℃，主水泵扬程约50m。压缩空气源压力0.4至0.8MPa，流量约1m³/h。
真空炉安装了水温、水压与流量继电器，异常时应能断电并报警。真空抽气系统还应配备与电源联锁的自动阀门，停电时自动关断抽气管路，防止空气与真空泵油进入炉内。与真空加压烧结炉等加压设备类似，水路与电气联锁是安全运行的底线，建议每班点检一次。
