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真空炉维护保养的核心原则是预防性为主，将问题消灭在萌芽状态。真空环境对污染物敏感，保持清洁度和建立维护日志是延长设备寿命的关键。
每次使用后炉温降至安全范围，及时清理炉膛内金属屑和残留物，用无尘布擦拭。检查所有门盖密封圈有无划痕变形，发现损坏立即更换。检查冷却水循环和水压水温是否正常，无泄漏堵塞。检查真空泵油位油质，乳化或变黑立即更换。记录当班真空度、温度曲线和报警信息。
每周检查真空泵油滤器和排气过滤器；每月对真空规管进行功能检查和校准；每季度对炉体和连接法兰进行氦质谱检漏，确保压升率达标。年度维护包括更换泵油、清理加热元件积碳、检查隔热屏和水路除垢。建立完整的维护档案，便于趋势分析和故障预判。