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氮化硅陶瓷具有高硬度、优异高温强度和良好热稳定性,是制造轴承和切削刀具的理想材料。但氮化硅属于强共价键化合物,自扩散系数低,常规烧结难以致密化,气压烧结技术是关键解决方案。

在氮气气氛中施加5到20MPa压力,有效抑制氮化硅高温分解,促进致密化进程,同时精确控制β相转变。温度、压力、气氛组成和保温时间共同决定陶瓷的微观结构和力学性能。

烧结温度过高会导致晶粒粗大降低强度,过低则致密度不足。气压补充在后期抑制氮化硅分解,实现液相烧结致密化。保温时间需兼顾致密化程度和晶粒长大控制。优化工艺窗口可获得高致密度、细晶粒的高性能氮化硅陶瓷。