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真空炉电气故障以温度异常为主，包括超温报警和温度达不到设定值，需按步骤排查。
检查工作区温控器参数是否正常，与正常温控器对比。按电路图检查固态继电器输出是否击穿，断电后用万用表测量输出端电阻，击穿则更换同型号。摇动热电偶探头观察温控器是否跳动，接触不良需更换。
检查温控器参数和输出信号。热电偶可互换测试，损坏则更换。内腔热电偶更换涉及真空密封性能需专业处理。温控器和热电偶正常时检测加热元件。