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近日,东莞市志远工业设备有限公司自主研发制造的金刚石/铜复合真空热压机顺利完成出厂检验与调试,正式交付北京沃尔德金刚石工具股份有限公司。该设备将用于沃尔德金刚石/铜高导热复合材料及超硬刀具坯体的真空热压烧结工序,进一步提升其产品致密度、界面结合强度与批次一致性。
一、项目背景
北京沃尔德金刚石工具股份有限公司创立于2006年,2019年在上海证券交易所科创板上市,系国家高新技术企业。公司专注于超高精密、高精密刀具及超硬材料制品的研发、生产与销售,主要产品涵盖PCD/PCBN超硬刀具、金刚石热沉材料、金刚石光学窗口等,广泛应用于消费电子、汽车制造、航空航天及半导体精密加工等领域。
沃尔德在金刚石材料制备领域具备深厚的技术积累,是国内少数掌握CVD法三大制备工艺的企业之一。随着下游5G通信、功率半导体等行业对高导热封装材料需求的持续增长,金刚石/铜复合材料凭借高导热率、可调热膨胀系数及良好的力学性能,成为电子封装领域的关键材料。为进一步优化金刚石/铜复合材料的烧结工艺,提升材料致密度与界面结合质量,沃尔德经过多轮技术交流与方案论证,最终选定志远工业的金刚石/铜复合真空热压机。

二、交付设备介绍
(一)设备概述
此次交付的金刚石/铜复合真空热压机,是志远工业针对金刚石/铜复合材料烧结特性专门开发的专用热工装备。设备在密闭高真空腔体内同步完成高温加热与单向机械加压,通过热-力耦合作用驱动原子扩散与颗粒重排,有效解决金刚石与铜基体润湿性差、常压烧结孔隙率高、界面结合弱等行业共性技术难题。
设备采用卧式单室冷壁结构,集成石墨发热体加热系统、伺服液压加压系统、分子泵与机械泵组合高真空机组及多段PID温控系统,可对升温速率、保温温度、加压时机、保压曲线、冷却速率等工艺参数进行独立编程控制,适配金刚石/铜复合材料从实验室研发到规模化生产的不同工艺需求。
(二)核心技术特点
1. 温压同步协同控制。加热系统与加压系统采用联动控制逻辑,可设定温度触发加压或时间触发加压,支持先升温后加压、边升温边加压等多种工艺模式,适配不同金刚石体积分数与铜基体配方的烧结曲线。
2. 高真空洁净烧结环境。采用机械泵+分子泵组合的高真空机组,极限真空度可达6.6×10⁻⁴Pa,工作真空度稳定在10⁻²~10⁻³Pa量级,有效排除腔体内氧气与水蒸气,防止铜基体高温氧化及金刚石表面碳化,保障界面洁净度与材料纯度。
3. 伺服液压恒压输出。加压机构采用伺服电机驱动液压系统,压力输出范围覆盖5~500吨(可定制),压力控制精度±1%,支持恒压、分段升压、阶梯保压等多种加压模式。压头采用石墨或钨钼合金材质,耐高温且与坯料反应活性低,配合高强度石墨模具可承受30~50MPa的单位面压。
4. 多区独立温控与均匀温场。炉膛采用多区石墨发热体分区布置,每区配备独立热电偶与PID控制回路,有效温区内温场均匀性±5℃,保温温度波动≤±1℃。串级PID温控算法可根据设定曲线自动调节功率输出,升温速率0~20℃/min可调,减少工件不同位置温差导致的烧结形变差异。
5. 工艺数据可追溯。控制系统配备触摸屏与工业计算机,实时记录温度、真空度、压力、功率等工艺参数,数据采样间隔可设定为1秒,支持工艺曲线回放与数据导出。每条烧结曲线可保存为独立工艺配方,调用时一键加载,保障批量生产的批次一致性与工艺可追溯性。
6. 多重安全联锁保护。设备配置超温保护、过压保护、断水保护、漏气报警、压头过载保护等多重安全联锁,任一异常触发时系统自动切断加热功率并进入安全降温程序。炉门采用液压锁紧与行程开关双重确认,未锁紧状态下禁止启动加热与加压程序。

| 参数项目 | 技术指标 | 参数项目 | 技术指标 |
| 最高工作温度 | 2000℃(常规)/2300℃(高温型) | 长期使用温度 | ≤1800℃ |
| 有效温区尺寸 | Φ100×100 ~ Φ300×300mm | 温场均匀性 | ±5℃ |
| 控温精度 | ±1℃ | 升温速率 | 0~20℃/min可调 |
| 极限真空度 | 6.6×10⁻⁴Pa | 工作真空度 | 10⁻²~10⁻³Pa |
| 最大压力 | 100T/200T/300T/500T可选 | 压力控制精度 | ±1%FS |
| 发热体材质 | 高纯石墨/钨钼合金 | 温控区数 | 3区/5区可选 |
| 真空机组配置 | 分子泵+罗茨泵+机械泵 | 额定功率 | 50~160kW(按规格) |
| 控制方式 | PLC+触摸屏+工控机,全自动 | 电源 | 380V±10%,50Hz,三相五线 |
注:以上为常规机型参数,实际设备可根据用户产品尺寸、产量需求、工艺窗口进行非标定制,包括炉膛尺寸、压力吨位、温控区数、真空机组配置、自动化上下料等模块的灵活选配。
(四)适用范围
设备主要适用于金刚石/铜高导热复合材料的真空热压烧结,典型工艺窗口为烧结温度850~1050℃、单位压力20~50MPa、保温保压时间30~90min,成品致密度可达98.5%以上,热导率400~650W/(m·K),热膨胀系数可调控在5~9×10⁻⁶/K区间,广泛用于5G通信功放模块、大功率LED封装、激光器热沉、IGBT模块散热基板等电子封装领域。
同时,设备通过更换模具材质与调整工艺参数,可兼容金刚石/铝复合材料、PCD金刚石复合片、金刚石工具制品、碳化硅铝基复合材料、钨铜合金、硬质合金、透明陶瓷等其他难致密材料体系的真空热压烧结。
三、项目意义与服务保障
此次金刚石/铜复合真空热压机的顺利交付,是志远工业在高导热复合材料烧结装备领域的又一重要落地案例。设备针对沃尔德的具体工艺需求进行了定制化配置,包括炉膛尺寸、压力吨位、温控区数及真空机组选型等方面的优化,确保设备与现有产线工艺无缝衔接。
志远工业在设备交付后,将提供现场安装调试、操作人员培训及定期维保回访等一体化技术服务,保障设备长期稳定运行。双方后续将在金刚石/铜复合材料烧结工艺优化、设备升级改造等方面继续深化合作,共同推动高导热电子封装材料制备技术的进步与产业落地。
四、公司简介
东莞市志远工业设备有限公司深耕高温热工装备领域十余年,是集研发、生产、销售及技术服务于一体的技术型企业。公司主营产品包括真空钎焊炉、真空热压机、真空烧结炉、管式炉、气氛炉、CVD沉积炉、马弗炉等全系列热工设备,产品覆盖从实验室精密研发到工业规模化生产的各种场景,广泛应用于新材料、半导体、新能源、精密光学、航空航天等领域。
公司核心优势在于温控精度与非标定制能力:搭载串级PID温控体系,温场控制波动小;配置多重安全联锁,保障设备运行稳定;可对炉膛、温控、气路、自动化模块进行非标改造,满足不同行业客户的差异化工艺需求。出厂前执行多轮冷热态测试,交付后提供方案评估、现场安装调试、实操培训、维保回访的一体化服务。
此前已为碳真芯材、宁波赛默科技等多家新材料企业提供真空热压设备及配套工艺服务,在金刚石基复合材料烧结装备领域积累了丰富的项目经验。
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