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真空退火炉的开炉停炉，最怕的就是顺序搞反。滑阀泵、罗茨泵、扩散泵这三级真空系统，哪台先开哪台后停，都是有讲究的。新工人刚上手，觉得不就是按按钮嘛，结果把扩散泵先开了，前级还没抽真空，扩散泵油一下子氧化报废；或者停炉时先关机械泵，泵油反抽到管路里，清理好几天。这套操作顺序不是厂家随便定的，是几十年用下来的经验，照做才能让设备长寿。
一、开炉前的电气和气路准备
开炉第一步不是按真空泵，而是先把总电源和冷却水打开。合上总断路器，再合各分路开关，看配电柜上三相电压正常。PLC电源和仪表电源依次合上，触摸屏启动，看系统自检有没有报警。自动手动开关打到自动位置，后面真空泵和阀门的联动就靠PLC来执行。手动档只在调试检修时用，正常生产别用手动，容易漏步骤。
冷却水要全开到位。滑阀泵、罗茨泵、扩散泵都有水冷，炉体水冷壁也有水冷。看每个回水都有水流出，水压在规定范围。冬天如果车间温度低，还要看水管有没有冻住。冷却水没开就开扩散泵加热，泵体过热会烧坏密封。
气路方面，压缩空气要到位，气动阀门靠压缩空气驱动。气压不够，阀门动作慢或者不到位，真空系统就抽不动。保护气瓶压力检查一下，氩气或者氮气瓶余量够不够这一炉用。
二、真空泵启动顺序为什么不能乱
真空退火炉一般配滑阀泵做前级，罗茨泵做中间增压，扩散泵做高真空获得。启动顺序是从低真空到高真空一级一级往上加。先开滑阀泵，因为它是前级泵，负责把系统从大气压抽到低真空。滑阀泵启动后先抽管道真空，一两分钟后管道里空气抽走了，再打开真空阀把炉体接进来。这时候滑阀泵直接对炉体抽，炉内真空度慢慢下降。
等炉内真空度抽到几百帕，滑阀泵已经把粗真空抽好了，这时候才能开罗茨泵。罗茨泵是增压泵，它不能直接从大气压启动，必须有前级泵把入口抽到低真空它才能工作。直接开罗茨泵，泵腔内压差太大，转子过载烧电机。PLC上一般有个J1指示灯，前级真空到了J1灯亮，才允许罗茨泵启动。
罗茨泵启动后继续抽，真空度到十几帕，这时候可以开预抽阀，同时启动扩散泵加热。扩散泵不是一开就能用的，它要把泵油加热到沸腾，蒸汽喷出来才能抽高真空。这个预热过程要三四十分钟，急不得。预热期间扩散泵的冷却水要一直开着，把泵顶冷凝下来。等扩散泵热透了，真空度才能从十几帕抽到十的负二帕甚至更高。
整个过程PLC自动按顺序走，操作工只要在触摸屏上点启动，系统自己判断每一级真空度够不够，够了才开下一级。但操作工要盯着看，哪一级卡住了要查原因，不能不管。 类似工况下，真空渗碳炉能够提供稳定的作业环境。
三、升温保温和气氛控制
真空度到位后，按工艺曲线升温。退火炉一般分几段：先三百到五百度保温一段，把工件和炉壁里的水汽烘出来，这时候真空度会因为放气下降，等真空度重新稳了再继续升温。再升到退火温度，按工艺要求保温。保温期间真空度如果持续下降，说明工件在大量放气，要检查是不是工件没烘干或者有油污。
很多退火工艺不是全程真空，而是在真空抽到一定度后充氩气回充，维持微正压。充氩气要慢，不能一下子冲进去把真空系统冲坏。回充到规定压力后，关真空阀，让炉内保持气氛。如果是不锈钢光亮退火，充氩气或者氢气，工件表面不氧化。充入的气体纯度要够，含水量含氧量低，不然白充。
四、停炉顺序跟开炉反过来
工艺结束后，停炉顺序跟开炉正好反过来。先关加热，停止升温。如果有气冷，充入氮气开风机快冷。没有气冷就随炉自然冷却。这时候扩散泵还在加热状态，不能马上关，因为炉内还在真空状态，扩散泵要维持着。
等炉温降到二百度以下，先关扩散泵加热。这时候扩散泵还在冷却，不能马上停滑阀泵，因为扩散泵冷却过程中还要前级泵抽着。一般等扩散泵冷却半小时到一小时，泵油温度降下来了，再关罗茨泵，最后关滑阀泵。关滑阀泵之前要先放气，把泵进气口通大气，不然泵油会被大气压反抽到泵腔里。
炉门要等炉温降到一百五十度以下才能开。高温下开门进空气，炉内隔热屏和发热体氧化。开门后先把工件拉出来，再清炉膛，准备下一炉。整个停炉过程PLC也有自动程序，操作工只要在触摸屏上点停止，系统按设定顺序执行。但人要在旁边看着，哪一步卡住了要手动干预。
真空退火炉的开停炉，核心就是真空泵的启动和停止顺序。这顺序记住了，操作就不会出大问题。东莞市志远工业设备有限公司在真空箱式气氛炉和真空钎焊炉的PLC程序里，把每一步联锁都做死了，顺序不对系统不让往下走，新操作工跟着触摸屏提示走就行，不容易出错。 公司产品覆盖真空铝钎焊炉、真空加压烧结炉等多种类型，欢迎咨询了解。