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真空烧结炉操作看着就是按几个按钮,但老操作工都知道,炉子开起来顺不顺,全看开机前那半小时准备工作做没做细。冷却水没开就加热,中频电源烧了;真空泵油位不够就抽真空,泵磨损快;炉门没压紧就升温,漏气氧化工件。新手上岗,师傅第一件事不是教怎么按启动,而是先教开机前检查清单。今天把真空烧结炉从开机到关机的完整流程理一遍,照着走能少踩很多坑。
一、开机前的冷却水和电源准备
真空烧结炉的冷却水不是可有可无的辅助系统。中频电源的感应线圈、炉体水冷壁、电极密封、真空泵的冷却水管路,全靠这一套水带走热量。开机第一步就是开冷却水,总阀门打开,看水压表到规定值,一般在零点二到零点四兆帕。水压不够,流量开关不动作,后面加热启动不了;水压太高,水管接头容易爆。每一路分支阀门都要开到位,不能只开总阀,某一路堵了没发现,那个部件就干烧。
水质也要留意。用自来水时间长了管壁结垢,流量下降,水冷效果变差。条件允许的话用软化水或者纯净水,水箱定期换水。看一下回水有没有水出来,每一路都要确认,堵了一路当时看不出,加热半小时后那个部件温度上来了才发现,已经晚了。冷却水温度一般控制在十五到二十五度,太低结露,太高冷却不够,夏天要开冷却塔,冬天要防冻。
电源方面,先合总闸,看配电柜上电压表指示正常,三相平衡。中频电源柜散热风扇要转起来,柜内温度不高。急停按钮复位,门上联锁开关关好。这些都是常规检查,但越是常规越容易忘,急停按钮被人按了没复位,后面按什么都没反应。
二、真空泵和真空系统检查
真空烧结炉一般配机械泵加罗茨泵,好一点的再加扩散泵或者分子泵。开炉前先看真空泵油位,油窗在中线以上,油色清亮。油发黑乳化了就要换,别硬撑,泵油脏了抽气效率下降,还会磨泵腔。皮带松紧度用手按一下,能按下去一指头深差不多,太紧轴承坏,太松打滑发热。
手动盘车,用手转一下皮带轮,转起来顺滑没有卡滞,再点动启动。不能直接一合电就猛转,泵卡了烧电机。机械泵启动后听声音,平稳的嗡嗡声正常,有金属摩擦声就要停机检查。罗茨泵要等前级泵抽到低真空后才能开,直接开罗茨泵会把油反抽到炉腔里。

扩散泵是高温设备,要提前半小时开加热,把泵油烧开。扩散泵没热透就抽高真空,抽不动还会返油。真空管路阀门检查一遍,蝶阀、挡板阀开关灵活,密封面没异物。麦氏真空计或者电阻真空计要校零,真空计不准,抽真空就靠猜。
三、装料和炉内检查
一切外围准备好,开始装料。先把炉门打开,检查炉膛内有没有上次烧完留下的碎屑、掉渣。石墨坩埚、石墨模具如果有裂纹要换,不然高温下裂了掉东西。感应圈或者加热元件表面干净,没有氧化皮。隔热屏完整,没有破损掉块。真空密封胶圈看一眼,有没有老化变形,弹性好不好。 针对复杂工件,真空铝钎焊炉的均匀加热特性更具优势。
工件装到料架上,摆放均匀,不要贴着发热体,也不要挡住热电偶。料架重心居中,不要偏载。装完关门,对角均匀压紧法兰螺栓,不能一边紧一边松,密封压偏了还是漏。杠杆手把拉到位,门到位开关压上,系统才认为门关好了。
关上门后先抽低真空。开机械泵,打开前级阀,看真空表慢慢往下走。抽到几百帕以后开罗茨泵,继续抽到十几帕。这时候看一下压升率,关泵关阀,真空度十分钟内回升不超过规定值,说明炉体密封OK,漏气点没有。如果压升率大,先别升温,查漏。法兰口、密封面、电极穿接头,都要查,哪里漏处理哪里。
四、升温烧结和停炉
真空度到位后,才能启动加热。中频电源合闸,先小功率试一下,看电流表电压表指示正常,没有打火异响。然后按工艺曲线升温,第一段慢一点,先三百到五百度保温,把炉壁和工件里的水汽烘出来。这个阶段真空度会掉,因为水分蒸发,等真空度重新稳了再继续升温。
升到烧结温度后保温,保温时间按工艺要求来。这期间盯着真空度和温度,真空度如果突然变差,可能是工件放气或者漏气,先降功率查。保温结束,按工艺要不要充保护气氛。充氩气或者氮气回充,压力到微正压,然后开气冷风机快冷。没有气冷就随炉自然冷却。
停炉顺序不能乱。先关加热,再关扩散泵加热,等炉温降到二百度以下才能关罗茨泵,最后关机械泵。机械泵关之前先放大气,不然泵油会被大气压反抽到泵里。炉门要等炉温降到一百五十度以下才能开,高温下开门进空气,发热体和隔热屏会氧化烧损。冷却水最后关,要等炉体和电极都凉透了再停水,一般再循环半小时。

真空烧结炉操作是个流程活,每一步有每一步的要求,跳步抢时间迟早出问题。新员工上岗,前一周别让他独立开炉,跟着师傅走几遍流程,把每一步为什么这么做讲清楚。东莞市志远工业设备有限公司在真空烧结炉和真空钎焊炉的操作手册上,把开机前检查、装料、抽真空、升温、冷却、停炉每一步都写得很细,客户现场安装调试时技术会带着操作工走完整流程,练熟了再独立上岗。 公司产品覆盖真空烧结炉、真空管式炉等多种类型,欢迎咨询了解。