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真空烧结炉采用硅碳棒或电热合金丝发热，最高温1700℃，精密程序控温，广泛用于结构陶瓷、功能陶瓷和硬质合金的高温烧结。
氧化物陶瓷坯体气孔中含水蒸气、氢、氧等气体，烧结中沿晶界或通过晶粒逸出。一氧化碳和氮气溶解度低不易逸出，导致制品含气孔致密度下降。真空条件下所有气体在坯体完全烧结前逸出，制品不含气孔。
高温真空下陶瓷坯体经粘滞流动、扩散和蒸发等物理化学过程，变为致密坚硬体积稳定的烧结体。真空烧结提高制品致密度和性能，也可充入保护或反应气氛进行气压高温烧结。