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真空热压炉在真空环境下对模具中粉末加热同时施加压力，使成型与烧结同时完成。
热压时粉料处于热塑性状态形变阻力小，所需成型压力小。加热加压同时进行有助于粉末颗粒接触扩散和流动传质，降低烧结温度缩短烧结时间，抑制晶粒长大。真空条件下烧结体孔隙率低致密化程度高晶粒细小，机械性能和电学性能良好。
加热室容纳热压构件与模具，真空度满足工艺要求。温度精确控制自动调节均匀性好，压力控制精度高上下压头对中。压模材料耐高温承压不与烧结体反应。进口压力传感器和位移传感器保证控制精度。