半导体水冷板真空钎焊焊接

浏览量：1

近日，东莞市志远工业设备有限公司为北京华卓精科科技股份有限公司完成一批半导体水冷板的真空钎焊加工，工件用于半导体工艺设备的精密温控系统。

一、项目背景

北京华卓精科专注于半导体设备核心零部件制造。该水冷板内部流道狭窄，对洁净度和密封性要求高，一旦泄漏会污染工艺环境。客户此前自行焊接的产品长期使用后出现微泄漏。

二、工艺方案

技术团队在志远液冷板钎焊炉中采用洁净工艺，炉腔加工前经充分抽空和高温除气。水冷板叠层结构在真空下一次钎焊成型，不使用含氟钎剂，焊后无需化学清洗。多段温控曲线保证流道各部位温度一致。

三、交付验收

水冷板经氦质谱检漏和颗粒度检测，泄漏率和洁净度满足半导体设备要求。客户已将后续批次交由志远加工。