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近日,东莞市志远工业设备有限公司为深圳岚瑞科技有限公司完成一批半导体精密零件的真空钎焊加工,工件用于真空腔体连接件。
一、客户背景
深圳岚瑞科技从事半导体设备零部件研发。该批零件为不锈钢真空连接件,要求焊缝气密性好、表面光洁。客户此前用电子束焊接,成本高且交期长。
二、工艺方案
技术团队在志远真空钎焊炉中采用银铜钎料加工,真空环境下焊缝不氧化,零件表面光洁。设备多区控温保证薄壁件和厚壁件同炉加工质量一致。
三、验收结果
零件经氦检漏和外观检查,泄漏率满足半导体真空要求,表面无飞溅。客户表示真空钎焊零件成本低于电子束焊接。

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