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真空炉按结构分立式和卧式，立式有钟罩升降式和托盘升降式，卧式有单开门和前后双开门，炉体均水冷夹壁结构。
炉体仪表和控制柜经常保持清洁。炉子周围不存放易燃易爆物品。炉体外壳油漆保持完好定期涂刷。炉温高时不长时间打开炉门。使用温度不超过高额定温度。
定期修复和完善炉口密封措施。定期对机械传动部分进行润滑。低压渗碳技术在真空中进行，无氧化物无污染物表面，结合气淬改善零件变形，提高渗碳温度减少处理时间。