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碳化硅真空烧结炉广泛应用于陶瓷、碳化硅、硬质合金和石墨纯化的真空烧结，使用中需注意多项维护保养事项。
灯管感染有机物用酒精棉或无纺布擦洗。腔体内部清洁注意各气孔有无阻塞。有机排和热排清洁用酒精去除有机物。密封结构和真空系统零部件拆装时用酒精清洗干燥后涂真空油脂再组装。
传动件出现限位不准或卡位等现象立即停止不强行操作。停炉后炉内保持真空度。真空泵阀门和热工仪表按技术说明使用维修保养。日常保养延长设备使用寿命。