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AI芯片和功率半导体越做越密,发热量也水涨船高,普通铜铝散热片已经快跟不上芯片的热流密度了。金刚石铜复合材料这种新材料,把金刚石的高导热和铜的金属性结合起来,热导率能做到800瓦每米开尔文量级,是第三代散热方案里被看好的路线。河南碳真芯材科技有限公司就是做这类材料的企业,最近,东莞市志远工业设备有限公司自主研发生产的真空热压炉完成出厂检验,发往客户在郑州高新区的生产基地,用于金刚石铜复合散热材料的热压致密化工序,支撑客户散热器件产能的进一步释放。
一、客户是谁,做的是什么材料
河南碳真芯材科技成立于2023年初,是哈尔滨工业大学和哈工大郑州研究院孵化出来的企业,背后依托哈工大航天学院的科研团队。公司做的方向比较前沿,一边做MPCVD金刚石生长装备和大尺寸金刚石制备,一边做金刚石金属基复合材料,已经把金刚石镀覆、复合材料批量制备、成品加工成型这一整条链搭了起来。产品主要面向AI芯片、功率半导体、光电器件的热管理,核心就是把金刚石铜复合散热材料做到规模化量产。
这类企业从实验室走向量产,最需要的就是能把科研成果稳定复制到生产线上的热工装备。金刚石铜这种材料,散热性能好不好,很大程度取决于热压致密化这一步做得扎不扎实,所以这台真空热压炉在客户产线上的位置很关键,不是可有可无的辅助设备,而是直接决定材料良率和导热性能的核心工序设备。
二、金刚石铜热压,对炉子有什么特殊要求
金刚石铜复合材料的制备,要把金刚石颗粒和铜基体在高温下结合成一块致密材料。这个过程里有两个难点。一是铜在高温下特别容易氧化,一氧化界面就结合不好,所以必须在高真空环境里做,把氧气压到足够低。二是光靠加热铜熔化还不够,还得施加机械压力,把熔融的铜往金刚石颗粒的间隙里挤,让它充分填充,致密度上去了,导热性能才上得去。

这次交付的真空热压炉,把高真空、高温、单向加压这几件事集到了一起。工作真空度做到10的负三次方帕量级,把铜基体在高温下氧化的风险压下去;最高工作温度覆盖了碳基复合材料烧结需要的温区;压力系统用闭环控制,保压过程波动小,不会因为压力忽大忽小影响材料致密均匀性。对金刚石铜这种界面结合很敏感的材料来说,真空防氧化加压力促填充这两条,直接关系到散热片的导热性能和批次稳定性,都是硬要求。 实际生产中,真空渗碳炉的温控精度对最终结果影响较大。
三、设备怎么配合客户现有产线做调整
志远工业在热工设备这一行做了不少年,产品覆盖真空钎焊炉、CVD管式炉、气氛炉、石墨化炉等多个品类,之前给不少半导体材料和碳基复合材料企业做过定制化方案。这次合作不是简单卖一台标准炉子过去,技术团队结合碳真芯材自己的模具尺寸、装料方式和工艺曲线,对炉膛结构、温控分区和加压机构做了针对性调整。
为什么要做这些调整?因为客户已经有自己的一套产线布局和工艺节奏,如果设备尺寸、装料方式和现有产线对不上,进场之后还得大改,拖达产进度。提前把这些匹配好,设备进场后就能快速衔接现有产线,少走现场磨合的弯路。这种按客户实际工况定制的思路,是做定制化热工设备和卖标准设备很大的区别。
四、从实验室到量产,装备需求正在变
金刚石铜复合材料作为第三代散热方案的代表材料,正从实验室验证加速走向批量应用。这个阶段对制备装备的要求,已经从早期的"能用"转向"好用、稳定用"——不光要能把材料做出来,还要能一炉一炉地稳定做,批次之间导热性能别差太多,设备别动不动出故障停线。这其实就是量产和科研的分水岭。

对东莞市志远工业设备有限公司来说,这次和碳真芯材的合作,也是在高导热材料这个新兴方向上又积累了一个量产配套案例。公司会持续跟进这台设备的安装调试和工艺磨合,用稳定的热工装备支撑客户在这个赛道上往前走。做金刚石铜、碳基复合材料这类散热材料的企业,如果也在从试样往量产扩产,欢迎把自己的模具和工艺情况说过来,技术这边可以一起把设备配套的思路理一理。 东莞市志远工业设备有限公司主营真空铝钎焊炉、真空加压烧结炉等系列产品,可根据客户工艺需求定制方案。